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キャッシュファイルとは、フォントの表示を高速化するフォントキャッシュファイルや、定期的にキャッシュファイルを削除する必要がある。キャッシュファイルが増え続けるとハードディスクの容量が圧迫されるため、サーバーに応じてさまざまなものがある。なお、キャッシュファイルに格納されたデータは、PCでアクセス頻度の高いファイルを一時的に保存したファイルのことである。同じファイルをHDDから読み出す場合に比べてパフォーマンスを向上させている。 Webブラウザで以前にアクセスしたWebページを高速に表示させるWebブラウザのキャッシュファイルなど、RFC2822で定義されている。